杜邦推出高性能全氟弹性体部件  

出　　处：《上海化工》2008年第11期49-49,共1页Shanghai Chemical Industry

摘　　要：在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上,杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez8900全氟弹性体部件,实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命,减少了昂贵的设备停工时间,降低了设备拥有成本。

关 键 词：高性能弹性体 全氟弹性体 部件 杜邦 半导体设备 材料产业 过程开发 密封寿命 

分 类 号：F416.72[经济管理—产业经济]