动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法  

作　　者：张晓[1,2] 叶孝佑[2] 孙双花[2] 高宏堂[2] 常海涛[2] 

机构地区：[1]中国计量学院计量测试工程学院,杭州310018 [2]中国计量科学研究院,北京100013

出　　处：《计量技术》2008年第11期12-16,共5页Measurement Technique

摘　　要：研究了激光干涉比长仪的动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法。分析了基于硬件电路的信号处理方法,及基于高速A/D采样、计算机数据处理的软硬件结合的信号处理方法,分别介绍了这两种方法的系统组成及工作原理。实验证明,前者抗干扰性能差,瞄准精度低;后者实现对刻线信号均匀等距采样,瞄准精度高,在测量速度达3mm/s时,可实现2nm的瞄准分辨率。

关 键 词：光电显微镜 A/D转换 数据处理 瞄准精度 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]