杜邦高性能弹性体推出KALREZ~8900部件  

出　　处：《化学工业》2008年第10期62-63,共2页Chemical Industry

摘　　要：在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上．杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez 8900全氟弹性体部件。Kalrez 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命，减少了昂贵的设备停工时间，降低了设备拥有成本。

关 键 词：高性能弹性体 部件 杜邦 半导体设备 全氟弹性体 过程开发 材料产业 密封寿命 

分 类 号：F416.72[经济管理—产业经济]