亚微米光栅的制作和零级衍射效率滤波特性的验证  

Make of the sub-micron gratings and the inspection of filter character of the zero-order diffraction efficiency

作　　者：张泽全[1,2] 黄元申[1] 张大伟[1] 陈南曙[1] 庄松林[1] 

机构地区：[1]上海理工大学光电学院,上海200093 [2]郑州大学电气工程学院,郑州450001

出　　处：《光学技术》2008年第6期847-850,共4页Optical Technique

基　　金：973计划资助项目(2005CB724304);国家科技部支撑计划资助项目(2006BAK03A03)

摘　　要：从亚微米光栅的特点出发,分析了应用于防伪技术领域的亚微米光栅的各项关键制作技术和特点,制作了具有零级衍射效率滤波特性和用于光变色防伪的亚微米光栅,光栅零级衍射效率滤波特性的测量结果与使用耦合波理论计算得到的结果是完全一致的。由此可以根据防伪技术所需要的滤波特性设计亚微米光栅的参数。The primary technique and characteristic of sub-micron gratings are analyzed, and the sub-micron gratings used for the security that has filter character of the zero-diffraction efficiency are made. The measure result of the filter character of the zero-diffraction efficiency is same as the calculate result with the rigorous coupled-wave theory. The parameters of the submicron gratings used for the security are disigned.

关 键 词：应用光学 亚微米光栅 零级衍射效率 滤波特性 

分 类 号：TB133[机械工程—光学工程]