接触式干涉仪示值误差检定及滤光片校准  

作　　者：李梅 

机构地区：[1]山西省计量监督检定测试所

出　　处：《中国计量》2008年第12期76-78,共3页China Metrology

摘　　要：接触式干涉仪是应用光波干涉原理，对微小位移进行测量的精密仪器。采用比较法，即将被测量与标准量相比较从而测得其差值的方法，其可用于检定长度不大于150mm的量块和其他工件的精密测量。仪器读数窗中刻度尺刻度范围为±50分度，刻度尺的分度值（可调）推荐采用的为0．05μm、0．1μm、0．21μm三种。

关 键 词：接触式干涉仪 误差检定 滤光片 校准 示值 精密测量 精密仪器 刻度尺 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]