大离轴量椭球反射镜的加工  

Fabrication of Large Amount Off-xis Ellipsoidal Reflector

作　　者：贺军峰[1] 田润澜[2] 田桢熔[2] 白东峰[1] 

机构地区：[1]河南工业职业技术学院机械工程系,河南南阳473009 [2]空军航空大学,吉林长春130022

出　　处：《激光与光电子学进展》2008年第12期64-67,共4页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：长春光机所“创新基金课题”

摘　　要：介绍了离轴椭球反射镜的加工与检测，并采用AutoCAD软件计算了反射镜的最大非球面度。加工后的离轴椭球反射镜倾斜度误差达1.55 arcsec,粗糙度均方根（RMS）达3.21nm，焦距误差小于1mm，表面精度可以达到λ/6（λ：0.51-0.98um）.The fabrication and testing methods of the off-axis ellipsoidal reflector are introduced The largest asphere degree of off-axis ellipsoidal reflector is caculated by AutoCAD software. The slope error,root mean square （RMS） roughness, and surface precision of the fabricated off-axis ellipsoidal reflector with focus error less than 1 mm reach 1.55 arcsec,3.21nm,λ/6, respectively.

关 键 词：高精度 椭球反射面 加工 检测 

分 类 号：V261.2[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]