氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏传感器对有机气体的监测研究  

作　　者：包新荣 连兵 孙小菁[2] 

机构地区：[1]甘肃省环境监测中心站,甘肃兰州730000 [2]中国航天科技集团公司五院五一0所,甘肃兰州730000

出　　处：《甘肃科技》2008年第23期55-56,68,共3页Gansu Science and Technology

摘　　要：用电镀法在多孔硅表面沉积ZnO薄膜,制备了氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏元件,对元件进行了乙醇、丙酮等五种有机挥发性气体敏感特性的测定。实验结果显示:元件对不同的有机气体的敏感度有差异,这与有机气体的官能团有关系。元件对乙醇、丙酮的敏感性很高,是氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏元件对气体分子的物理和化学双重吸附增大了吸附分子的量,还给元件提供了很大的比表面积和气体传输通道。

关 键 词：ZnO/PS薄膜 气敏传感器 有机气体 XRD FIIR 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理] TP212[理学—物理]