简化的液体流微传感器  

出　　处：《微纳电子技术》2008年第12期740-740,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：瑞士传感器制造商SensirionAG正在扩展其技术组合以用于液体流传感器的解决方案。该微传感器专家宣布了可用于非侵入式液体流传感器（基于平面微流体衬底）的微小化新技术。封装上的创新使Sensirion高敏感度热流传感器芯片能够通过微流体衬底内的流体沟道壁来进行非侵入式测量，该设计对毫升范围内的液体流测量和气泡探测具有独特的灵敏性。

关 键 词：微传感器 液体流 技术组合 非侵入式 传感器芯片 微流体 制造商 微小化 

分 类 号：TH86[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]