非晶多晶薄膜结构快速能量过滤径向分布函数分析(英文)  

作　　者：王永瑞[1,2,3] 刘震云[1,2,3] 戎咏华[1,2,3] 赵小林 张寿柏 

机构地区：[1]上海交通大学材料科学系 [2]粉末冶金国家工程中心中南工业大学 [3]国家教委薄膜及微细加工开放实验室上海交通大学

出　　处：《电子显微学报》1998年第1期3-4,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：介绍研究薄膜结构的新方法—能量过滤电子衍射法。该方法借助透射电镜样品后扫描，使薄膜的选区电子衍射花样顺序地扫过电子能量损失谱仪入口光阑，检测弹性散射电子强度与散射矢量关系，然后由径向分布函数理论，导出薄膜材料的最近邻原子间距和配位数等与结构有关的信息。通过多晶金薄膜和非晶钛铝薄膜的测试，获得满意结果。

关 键 词：薄膜结构 能量过滤 电子衍射法 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]