射频激励CO_2激光器功率传输中的阻抗匹配研究  

STUDY ON IMPEDANCE MATCHING OF RF-EXCITED CO_2 LASER

作　　者：王又青[1] 安承武[1] 陈清明[1] 

机构地区：[1]华中理工大学激光技术国家重点实验室,湖北武汉430074

出　　处：《兵工学报》1998年第1期51-55,共5页Acta Armamentarii

摘　　要：提出了射频（RF）激励CO2激光器功率传输中阻抗匹配的研究结果，推导出了一般π形匹配网络中调节元件参数的解析表达式，理论分析与实验结果较为符合，并使得实际阻抗匹配操作变得十分简便。The basic issues of impedance matching in power transmition of a radio frequency (RF)excited CO2 laser are theoretically discussed in detail. A general method for selecting the optimum parameters of the matching network is deduced,which makes the impedance matching of the practical RF-excited discharge very simple.

关 键 词：射频激励 阻抗匹配网络 二氧化碳激光器 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学]