硅纳米材料简介及硅纳米线的现代合成方法  

Brief Introduction of Silicon Nano-materials and Modern Synthetic Method of Silicon Nanowires

作　　者：刘茂玲[1] 丁云桥[2] 段希娥 

机构地区：[1]山东省化工研究院,济南250014 [2]山东大学,济南250100

出　　处：《有机硅材料》2009年第1期60-62,共3页Silicone Material

摘　　要：简要介绍了纳米材料、硅纳米材料的起源、发展,着重按硅纳米线的生长机理概括了5种合成方法:气-液-固生长法、有机溶液生长法、氧化物辅助生长法、分子束取向附生法、固-液-固生长法。The origin and development of nano materials/nano-silicon materials is introduced briefly with focus on five kinds synthesis methods, which are gas-liquid-solid growth method, oxide-assisted growth method, molecular beam epitaxy and solid-liquid-solid growth method.

关 键 词：硅纳米材料 硅纳米线 激光烧蚀法 热气相沉积法 化学气相沉积法 微电子 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]