测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法  

Simple Method for Determination of the Thickness of Polymer Film

作　　者：任诠[1,2,3] 王志刚[1,2,3] 刘学敏[1,2,3] 郭世义 牟晓东[1,2,3] 许东 尚淑霞[1,2,3] 

机构地区：[1]山东大学光学系 [2]山东大学晶体材料研究所 [3]山东大学实验中心

出　　处：《光电子．激光》1998年第1期35-36,共2页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文介绍了用准波导耦合ｍ线技术测量聚合物薄膜厚度的方法。测量结果表明，薄膜样品厚度的误差为３．６２×１０－２μｍ。并对测量精度作了分析和讨论。The thickness of the polymer film was measured by using the quasiwaveguide m line method.The result shows that the rms error of the thickness of the film is 3.62×10 -2 μm.The measurement accuracy was analysed and discussed.

关 键 词：聚合物薄膜 准波导 厚度测量 薄膜 

分 类 号：TQ317.3[化学工程—高聚物工业] TQ320.721