智能化薄膜测厚仪的一种设计  

作　　者：俞阿龙[1] 

机构地区：[1]东南大学

出　　处：《仪表技术》1998年第1期28-30,共3页Instrumentation Technology

摘　　要：介绍一种以MCS—51单片机为核心,利用β射线测厚传感器、集成函数运算放大器、V/F转换器等构成的智能化薄膜厚度测试仪的设计.其具有电路结构简单、价格低、性能稳定、测量精度高等特点.

关 键 词：传感器 测厚仪 单片机 Β射线 薄膜测厚 

分 类 号：TH821.1[机械工程—仪器科学与技术]