高温超导氧化物YBCO掺锆酸钡薄膜的制备及其结构分析  

PREPARATION AND STRUCTURAL ALALYSIS OF YBCO WITH BZO SUPERCONDUCTING THIN FILMS

作　　者：傅瑶[1] 杜国平[1] 叶志清[2] 张兴娇[2] 

机构地区：[1]南昌大学材料系,南昌330031 [2]江西师范大学物理与通信电子学院,南昌330022

出　　处：《低温物理学报》2009年第1期33-36,共4页Low Temperature Physical Letters

基　　金：国家自然科学基金(项目编号:60661001)资助的课题~~

摘　　要：本文用脉冲激光溅射沉积法(PLD)在LaAlO3(100)基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ掺锆酸钡(BZO)薄膜.用X射线衍射、透射电镜对薄膜结构进行分析.探索PLD沉积的最佳实验参数,最佳沉积温度为800℃,最佳氧分压为25Pa,最佳沉积频率为3Hz.We have deposited YBCO with BZO superconducting thin films on single crystalline LaAlO3 （001） substrate by pulsed laser deposition （PLD） methods. Analysis of the structure of the film by X-ray diffraction,TEM. The most optimizing paremeters are obtained,The best deposition temperature is 800℃, The most optimizing oxygen is 25 Pa, the best deposition frequency is 3 Hz

关 键 词：YBCO BZO PLD 高温超导薄膜 

分 类 号：TM26[一般工业技术—材料科学与工程]