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作 者:沈华[1] 吴孙桃[1] 朱文章[2] 王延华[1]
机构地区:[1]厦门大学物理系,361005 [2]集美航海学院基础部,厦门361021
出 处:《固体电子学研究与进展》1998年第1期43-48,共6页Research & Progress of SSE
基 金:国家和福建省自然科学基金
摘 要:测量了二氧化锡(SnO2)/多孔硅(PS)/硅(Si)的光电压谱,分析表明:在SnO2/PS/Si材料中存在着两个异质结;当样品吸附还原性气体时,其光电压明显下降。当样品在1%液化石油气的氛围时(相对于空气),光电压减少了16.4%-27.5%;在1%CO氛围时,减少了8.1%-19.4%;在1%H2氛围时,减少了12.1%-14.9%,因此SnO2/PS/Si可作为一种新的敏感元件。文中还对测量结果进行了讨论分析。The photovoltage spectra of Tin Oxide/Porous Silicon/Silicon(SnO2/PS/Si)have been studied. It is shown that there exist two heterojunctions inSnO2/PS/Si structure. The photovoltage decreases evidently when the sample absorbes reducing gas. The photovoltage decreases by 16. 4-27. 5 percent when theabsorbed gas contains 1 percent liquified petroleum, by 8. 1 19. 4 percent when thesample absorbes gas with 1 percent CO,and by 12. 1-14. 9 percent when the sample absorbes gas with 1 percent H,. The experimental results indicate that SnO2/PS/Si is a good material for gas sensor. The mechamism for the gas absorption ofSnO2/PS/Si is discussed.
分 类 号:TN204[电子电信—物理电子学]
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