物理所利用KBBF晶体获得极紫外光源  

出　　处：《激光与光电子学进展》2009年第2期10-10,共1页Laser & Optoelectronics Progress

摘　　要：中科院物理研究所研制出了极紫外（DUV）毫瓦级可调谐全固体激光器，可应用于200nm光电子发射光谱学及光刻等领域。研究人员通过Ti：Sapphire激光器进行四次调谐得到了175～210nm的可调谐光源。193nm的输出功率最大可达2．23mW，182—210nm的输出功率在1mW以上。这是首次通过二次调谐实现200nm以下宽可调谐全固体毫瓦级激光器。

关 键 词：物理研究所 KBBF晶体 紫外光源 全固体激光器 可调谐光源 输出功率 发射光谱学 研究人员 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学] O4-24[理学—物理]