平面工艺制作的定向输出微腔半导体激光器  

作　　者：黄永箴[1] 杨跃德[1] 车凯军[1] 王世江[1] 杜云[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室

出　　处：《激光与光电子学进展》2009年第2期46-48,共3页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家自然科学基金(60777028;60723002和60838003);国家重大基础研究项目(2006CB302804)的资助

摘　　要：光学微腔中偶极子自发辐射受到空间和频谱调制，能实现自发辐射增强或抑制效应，而且其有源区体积可以非常小，有利于极低阈值工作和极高的调制速率。在过去的二十多年来，垂直腔面发射激光器、回音壁模式（whispering—gallery mode）微腔激光器以及光子晶体微腔激光器三类光学微腔激光器的研究取得了很大的进展。回音壁模式微腔中，模式光线由于其在微腔界面的入射角大于全反射临界角而受到限制，是一种结构非常简单的光学微腔。

关 键 词：微腔半导体激光器 工艺制作 垂直腔面发射激光器 微腔激光器 GALLERY 回音壁模式 输出 平面 

分 类 号：TN248.4[电子电信—物理电子学] TS94-4[轻工技术与工程—服装设计与工程]