超声波精密直线位移机构的设计  

作　　者：白东哲[1] 郭创然[1] 

机构地区：[1]沈阳大学机械工程学院,110044

出　　处：《精密制造与自动化》2009年第1期33-35,共3页Precise Manufacturing & Automation

摘　　要：阐述了由纵弯振子驱动的超精密直线位移实验平台,在实验平台上安装了微动机构,其位移通过高精密的传感器进行检测。通过纵弯振子直线型超声波电动机的驱动原理及结构特点,分析了预压力和激振频率对其性能的影响。提出了通过控制微型滑块的运动实现更高精度定位的方法。

关 键 词：直线型超声波电动机 超精密 单边双足振子 

分 类 号：TP274.53[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]