用PACVD制备CNx—膜层  

作　　者：普民 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1998年第2期7-9,共3页

关 键 词：PACVD 碳先驱粒子 薄膜沉积 等离子体 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理] O484.1[金属学及工艺—金属学]