面向IC制造的轨道导引车系统  

作　　者：丛明[1] 徐晓飞[1] 代朋磊[1] 

机构地区：[1]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

出　　处：《机器人技术与应用》2008年第6期27-31,共5页Robot Technique and Application

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50675027);广东省教育部产学研结合项目(2006090304012)

摘　　要：介绍面向IC制造的轨道导引车系统,综述该系统的发展历史及国内外的研究成果,分析轨道导引车的组成结构和工作原理,并对轨道设计技术、连续给电技术、定位技术、死锁避免技术和派遣技术五个关键技术进行探讨。

关 键 词：轨道导引车 IC制造 死锁避免 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]