制备波导光栅的相位掩膜技术  

FABRICATING OF WAVEGUIDE GRATING BY PHASE MASK TECHNIQUE

作　　者：马少杰 李燕[1,2] 徐迈[1,2] 林久令 

机构地区：[1]中国科学院长春物理研究所 [2]中国科学院激发态物理开放研究实验室

出　　处：《发光学报》1998年第1期77-79,共3页Chinese Journal of Luminescence

基　　金：国家自然科学基金;中国科学院激发态物理开放实验室资助

摘　　要：制备波导光栅的相位掩膜技术＊马少杰李燕徐迈林久令（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）（中国科学院激发态物理开放研究实验室，长春１３００２１）关键词光波导，光栅耦合器，全息光栅自从７０年Ｄａｋｓｓ等人首次报道了集成光波导光栅器件以来［１］，波...A waveguide grating with a period of 0 62μm has been built on the glass substrate by special duplicating technique from a master of phase grating. The waveguide grating has been used as coupler of waveguide to experimentally observe that laser beam can be coupled into the waveguide film from above air and the TE mode in waveguide has been excited.

关 键 词：光波导 光栅耦合器 全息光栅 相位掩膜 

分 类 号：TN252.05[电子电信—物理电子学]