集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征  

CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC FORCE MICROSCOPE

作　　者：李燕[1,2] 徐迈[1,2] 张玉书[3] 

机构地区：[1]中国科学院激发态物理开放研究实验室 [2]中国科学院长春物理研究所 [3]集成光电子学国家重点联合实验室

出　　处：《发光学报》1998年第1期80-81,共2页Chinese Journal of Luminescence

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征＊李燕徐迈（中国科学院激发态物理开放研究实验室，长春１３００２１）（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）张玉书（集成光电子学国家重点联合实验室，长春１３００２３）ＢｕｒｇｅｒＪＰａｒｉａｕｘＯ（ＣＳＥＭＳｗ...We experimentally demonstrate that AFM can be used as a flexible tool for nondestructive characterisation of all steps of a fabrication sequence of submicrometer gratings for integrated optics without the necessity to specially prepare the samples under test.

关 键 词：集成光学 光栅 原子力显微镜 亚微米 

分 类 号：TN250.3[电子电信—物理电子学]