钨丝微电极阵列的简易制备方法  

An easy-to-prepare method for fabrication of tungsten microelectrode array

作　　者：姚源[1,2] 李刚[1,2] 张华[1,2] 周洪波[1,2] 孙晓娜[1,2] 朱壮晖[1,2] 隋晓红[3] 赵建龙[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050 [2]中国科学院研究生院,北京100039 [3]上海交通大学激光与生物医学研究所,上海200030

出　　处：《功能材料与器件学报》2009年第1期20-26,共7页Journal of Functional Materials and Devices

基　　金：国家973计划(No.2005CB724305);上海-应用材料研究与发展基金(No.06SA01);上海市自然科学基金(No.07ZR14134)资助项目;上海市优秀学科带头人项目(06XD14037)

摘　　要：本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法。该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制。最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定。整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本。此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性。This paper provides a detailed process flow for fabricating an easy - to - prepare, inexpensive array of tungsten mieroelectrodes. Firstly, a MEMS - based glass mold was used to align the tungsten probes which had been coated with a layer of photosensitive polyimide. A combination of double - side photolithog- raphy and electrochemical etch was then performed to precisely define the length of probes and the shape of probe tips. Finally a SU -8 holder was fabricated with molding and photolithography to fix the array of reduces the time and cost of fabrication of neural probes. Results are discussed on the geometrical, electrical properties and biocompatibility of the tungsten microelectrode array.

关 键 词：微细加工 钨丝 微电极阵列 神经探针 双面光刻 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]