强激光装置中玻璃疵病在线检测的光学系统设计  

An Online Inspection Image-forming Lens for Optical Defects in High Power Beams Measurement System

作　　者：董卫斌[1,2] 张敏[1] 达争尚[1] 陈良益[1] 董晓娜[1] 何俊华[1] 

机构地区：[1]中国科学院西安光学精密机械研究所先进光学仪器研究室,西安710119 [2]中国科学院研究生院,北京100039

出　　处：《光子学报》2009年第3期685-688,共4页Acta Photonica Sinica

基　　金：国家高技术惯性约束领域项目(051Z331BOA)资助

摘　　要：介绍了一种用于玻璃疵病在线检测的近摄工作距成像光学系统,其光组结构形式采用了光阑后置的准远心结构形式,主要光学参量为f′=14mm;在物像距为250mm约束条件下,物方视场达到90mm(对角线);F/number=3.56;光谱适应范围为400～800nm,对应的空间分辨率为100lp/mm时,调制传递函数大于0.29.A short work distance image-forming lens for online inspecting optical flaw was introduced. The structure of lenses is a stop iris postposition which field near view teleeentric optical system. The capital optical parameters are f＇= 14 mm, object-image distance 250 mm, the full diagonal of the objective field 90mm,and F^# ： 3.56 and spectrum range 400-800 nm. Image resolution is over 100 lp / mm when MTF reached 0.29.

关 键 词：光学测量 玻璃瑕疵检测 光学设计 平场像 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程] TN242[机械工程—仪器科学与技术]