集成光学 光电集成与器件  

出　　处：《中国光学》2005年第2期53-54,共2页Chinese Optics

摘　　要：TN256 2005021205 一种新型微变形镜键合技术=Bonding process for a novel micro-deformable mirror[刊,中]／余洪斌(华中科技大学光 电子工程系．湖北,武汉(430074)),陈海清…//光电工 程．-2004,31(8)．-12-14,22 对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合 工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键 合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等 电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入 的缺陷,使得最终获得的驱动电极的有效面积接近100％。

关 键 词：镜面 优化设计 级联二阶非线性 有效面积 器件 全光开关 集成光学 光功分器 电子工程 光电集成 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]