图像匹配技术用于扩展原子力显微镜测量范围的应用与研究  

Application and Study on Image Matching to Enlarge theScanning Scope of Atomic Force Microscope

作　　者：赵忠义[1] 孙涛[1] 董申[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学精密工程研究所,150001

出　　处：《航空精密制造技术》2004年第4期5-7,共3页Aviation Precision Manufacturing Technology

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(59835180)

摘　　要：研究了利用图像匹配技术来扩大原子力显微镜的测量范围的方法,通过对表面粗糙度测量结果的分析验证了该方法的可靠性,并得出了面粗糙度比线粗糙度更能体现试件表面形貌特征的结论。The image matching to enlarge the scanning scope of atomic force microscope (AFM) is studied. This technique is useful to spread the application of AFM in practice. The reliability of this technique is proved by analyzing the measuring result of the roughness of surfaces. It is concluded that surface roughness can better reflect the characteristic of the sample's surface than line roughness.

关 键 词：原子力显微镜AFM 测量 粗糙度 图像匹配 

分 类 号：TP274.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]