薄膜电导测量仪的设计  

作　　者：闭吕庆[1] 

机构地区：[1]玉林师范学院物理与信息科学系,广西玉林537000

出　　处：《广西物理》2004年第1期52-56,共5页Guangxi Physics

摘　　要：针对目前化学镀实验中需要测量化学镀层的导电特性与镀层厚度 ,设计了一款高精度的薄膜电导测量仪。测量仪使用四针法测量电阻 ,能自动检测探头是否接触良好 ,包括一个精密多档恒流源和一个多档微信号放大器 ,操作简单方便 ,可准确地测量 10 μΩ～ 1Ω范围内的薄膜电阻。实验应用效果良好。

关 键 词：电导测量 四针法 恒流源 放大器 EWB仿真 

分 类 号：TM934[电气工程—电力电子与电力传动]