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出　　处：《中国光学》2001年第5期78-78,共1页Chinese Optics

摘　　要：O462.3 2001053533透射式GaAs光电阴极激活技术研究=Research on transmissive GaAs photocathode active technique[刊,中]/徐江涛(西安应用光学研究所.陕西,西安(710065))//应用光学.—2000,21(4).—5-7,15通过对成像器件GaAs负电子亲合势(NEA)光电阴极激活技术的研究。运用分析仪器进行工艺质量在线监测,在大、薄、均的GaAs外延层激活出的台内阴极灵敏度大于1300 μA/lm。图4参9(吴淑珍)

关 键 词：应用光学 阴极激活 技术研究 在线监测 电子亲合势 成像器件 阴极灵敏度 分析仪器 制冷器 工艺质量 

分 类 号：O462.3[理学—电子物理学]