基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究  

A Study on Aerostatic Slider with High Stiffnessand High Damping for Ultraprecision Applications

作　　者：王贵林[1] 李圣怡[1] 粟时平[1] 

机构地区：[1]国防科学技术大学,长沙410073

出　　处：《航空精密制造技术》2001年第6期1-5,共5页Aviation Precision Manufacturing Technology

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：介绍了一种采用多孔质节流的新型空气静压导轨,其刚度可以达到400N/μm或者更高,具有这种刚度的空气静压导轨可以取代液体静压导轨,广泛应用于超精密机床中。This paper proposes a new type of aerostatic slider employing porous restriction, which can achieve a very high stiffness of more than 400 N/μm. The slider may widely be applied in ultraprecision machine tools instead of hydrostatic slider.[

关 键 词：超精密 空气静压导轨 多孔质节流 表面节流 

分 类 号：TG502.3[金属学及工艺—金属切削加工及机床]