氦质谱检漏仪的误差分析  

Analysis of Uncertainty for Leak detection of Helium mass spectrometer

作　　者：裘国红[1] 杜水友 

机构地区：[1]中国计量学院计测工程系,浙江杭州310034

出　　处：《中国计量学院学报》1999年第1期39-43,共5页Journal of China Jiliang University

摘　　要：本文通过对氦质谱检漏仪产生误差的各种因素进行综合分析，运用误差理论，最后计算出合成误差．The article has analysed all factors that cause uncertainty of leak detection of Helium mass spectrometer and applied error theory to calculate total uncertainty of leak rate.

关 键 词：氦质谱检漏仪 误差 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]