CGS—1型粗光栅位移测量系统  

出　　处：《中国高校科技》1995年第3期9-9,共1页China University Science & Technology

摘　　要：内容简介及技术水平:本成果为一种新型位移测量系统,主要由光学扫描器和光学系统构成的传感头,粗线纹光栅尺和数显器等构成。为国内首创的新技术,主要技术指标达到国内先进水平。

关 键 词：位移测量系统 粗光栅 光栅尺 光学扫描器 传感头 主要技术指标 性能特点 光学系统 模拟集成电路 技术力量 

分 类 号：TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]