微细EDM技术加工微齿轮的研究  

A STUDY ON MACHINING INVOLUTE MICROGEARS BY MICRO EDM TECHNIQUE

作　　者：陈文元[1] 丁涛[1] 张卫平[1] 姚锦元[1] 

机构地区：[1]上海交通大学信息存储研究中心

出　　处：《微细加工技术》1998年第2期73-78,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：本文通过用微细电火花（ＥＤＭ）方法加工模数为０．０６的微齿轮研究，阐述了微细ＥＤＭ方法加工微齿轮的原理、方法和关键技术。The microgears with module of 0 06 have been machined by micro EDM technique. The principle , method and key technologies of the technique are also described.

关 键 词：微细加工 微齿轮 IC 制造工艺 微细EDM加工 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]