GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟  

Design and Simulation of a GaAs-based MOEMS Wavelength Tunable Filter

作　　者：秦龙[1] 韩勤[1] 杨晓红[1] 朱彬[1] 鞠研玲[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083

出　　处：《半导体光电》2009年第2期187-190,共4页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：国家"973"计划项目(2006CB302802);国家"863"计划项目(2007AA03Z421);国家自然科学基金项目(60376025)

摘　　要：采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学-机械模型对GaAs基1.55μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究。结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHz。GaAs-based 1.55μm MOEMS wavelength tunable filters are introduced, and the optical and electromechanical properties are simulated by using matrix transmittance theory and a electric-mechanical model of cantilever. The simulation results show that the tuning range can reach 100 nm for an 800 nm air cavity length. The maximum reverse bias voltage is 4 V, and the tuning speed can reach 1.83 MHz.

关 键 词：微光电机械系统 密集波分复用 调谐范围 滤波器 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学]