我国集成电路产业的发展现状和展望  

CURRENT DEVELOPMENT AND PROSPECT OF IC INDUSTRY IN CHINA

作　　者：俞忠钰[1] 

机构地区：[1]电子工业部

出　　处：《微细加工技术》1998年第1期1-6,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：本文从ＩＣ制造技术、ＩＣ设计和产品开发以及ＩＣ微细加工专用设备三个方面，论述了“八五”我国ＩＣ科技进展和产业发展现状，分析了我国“九五”ＩＣ发展趋势，并提出了对今后发展的建议。

关 键 词：IC产业 微细加工 半导体集成电路 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学] F426.63[经济管理—产业经济]