π相移及频域滤波对傅里叶变换轮廓术精度的影响  被引量:3

Effect of π phase shifting and filtering in accuracy of fourier-transform profilometry

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作  者:李明媚[1] 孙杰[1] 肖健[1] 朱锦辉[1] 元伟[1] 

机构地区:[1]天津理工大学电子信息工程学院,天津300384

出  处:《天津理工大学学报》2009年第2期33-36,共4页Journal of Tianjin University of Technology

基  金:天津市科委自然科学基金(06YFJMC15600)

摘  要:在傅里叶变换轮廓术(FTP)测量方法中,测量系统经成像装置获取由物体高度调制后的变形结构光场,并通过傅里叶变换、频域滤波和傅里叶逆变换恢复出物体的高度信息.其中频域滤波是FTP中提高测量精度的重要环节.本文通过计算机模拟及数据对比证实,在傅里叶变换轮廓术的基础上采用π相移技术消除背景分量,利用适当大小的矩形滤波窗口获得高质量基频分量,有利于减小测量误差.In the method of Fourier-transform profilometry( FTP), projecting a structure field of grating pattern onto a measured object, a deformed fringe pattern is captured. The height distribution of the measured object can be determined by Fourier-transform, filtering and inverse Fourier-transform. Filtering is an important part in FTP to affect the precision. In this paper, π phase shifting technique is used to eliminate the zero components for avoiding the spectral mixing and overlapping. And the rectangular window is used to keep fundamental component with high quality. Computer simulations verify that this method can improve the measuring accuracy of FTP.

关 键 词:傅里叶变换轮廓术 滤波 三维形貌测量 

分 类 号:TN29[电子电信—物理电子学]

 

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