聚甲基丙烯酸甲酯薄膜表面的亚微米级图案化  

Sub-micron-patterned of PMMA Film Surface

作　　者：晏海英[1] 姚树寅[1] 吴仲岿[1] 陈红[1,2] 

机构地区：[1]武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉430070 [2]武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉430070

出　　处：《材料导报》2009年第8期11-13,共3页Materials Reports

基　　金：国家自然科学基金(90606013;107080)

摘　　要：利用波长为172nm的真空紫外光刻蚀技术(Vacuum ultraviolet lithography,VUV)对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的表面进行了图案化微加工,并采用扫描电镜和原子力显微镜对微图案化的PMMA膜的表面形貌进行了表征。此外,还通过跟踪测试真空紫外光照后PMMA膜表面随时间变化的水接触角研究了表面的亲疏水性。结果表明,利用该方法可以成功地在PMMA基材上一次性制备出保真度较好的亚微米级微流道,而且使微流道内表面具有稳定持久的亲水性。The sub-micron scale patterns is fabricated on polymethyl methacrylate（PMMA） surface by using vacuum ultraviolet lithography（VUV） at a wavelength of 172nm. The morphology of patterned PMMA surface is characterized by scanning electron microscopy（SEM） and atomic force microscopy（AFM）, respectively. Besides, the hydrophilicility of VUV-exposed PMMA surface is analyzed by static water contact angle. The results show that submieron channels with high-fidelity are successfully prepared via one step manufacture and hydrophilicity on VUV-exposed PMMA surface stably maintains for a long time.

关 键 词：微流道 图案化 真空紫外光刻 亲水性 

分 类 号：O632.52[理学—高分子化学] O484.41[理学—化学]