ZnO:Al透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究  

Optical and Electrical Properties of Al-doped ZnO Films Prepared Sol-gel Technique

作　　者：林应斌[1] 吴丽平[1] 林銮[1] 黄树铃[1] 李钻钻[1] 杨艳敏[1] 黄志高[1] 

机构地区：[1]福建师范大学物理与光电信息科技学院,福建福州350108

出　　处：《福建师范大学学报（自然科学版）》2009年第3期58-60,共3页Journal of Fujian Normal University：Natural Science Edition

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60876069);福建省青年人才基金项目(2008F3039);福建省高分子材料重点实验室开放课题(200801);福建师范大学本科生课外科技计划立项资助项目(BKL2008-009)

摘　　要：利用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备Al3+掺杂ZnO薄膜,研究了Al3+掺杂对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响.XRD测量结果表明,Zn1-xAlxO薄膜具有六角纤锌矿结构,晶格常数随着Al掺杂浓度的增加而减小;紫外-可见透射光谱(UV)表明,所有薄膜在可见光区的透过率均超过80%;光致发光谱研究发现,随着Al掺杂浓度的增加ZnO的吸收带边发生蓝移,XRD和光学性能研究都证实了ZnO薄膜中的Al3+是以替位式形式存在于晶格中.Al-doped ZnO polycrystalline films were deposited on quartz substrates by using a method of sol-gel technique. The properties of films were characterized by X-ray diffraction （XRD）, UV-transmittance spectroscopy and photoluminecent spectra （PL）. XRD reveals that the prepared films possess a polycrystalline hexagonal wurtzite crystal structure. All films show transmittance above 80% in the visible region from 400 to 800 nm at room temperature and the near band edge （NBE） of ZnO shifts to lower energy with increasing Al concentration, indicating Al3＋ ions incorporate into ZnO lattice as substitution.

关 键 词：溶胶-凝胶 ZnO 透射光谱 光致发光 

分 类 号：O482.3[理学—固体物理]