纵横利弊谈硅材  

作　　者：王东祥 王连成 

机构地区：[1]轻工业钟表研究所 [2]精密机电技术研究室

出　　处：《钟表》2009年第2期48-50,共3页Time Square

摘　　要：微机械技术就是以硅为材料,以IC生产技术为基础而发展起来,它追求的不是硅材料完成电子的输送,而是某些精密机构功能的实现。

关 键 词：硅材料 微机械技术 生产技术 

分 类 号：TH-39[机械工程] TN304.12[电子电信—物理电子学]