精密数字微压差计的研制  

作　　者：金明月[1] 马锡京[1] 刘义成 葛光宇[1] 

机构地区：[1]上海交通大学动力工程系

出　　处：《实验室研究与探索》1998年第1期70-71,共2页Research and Exploration In Laboratory

摘　　要：介绍了一种精密数字微压差计的研制，该仪器采用压阻效应设计的硅器件作为压力传感器件，灵敏度高，性能可靠。

关 键 词：压力测量 数字式微压差计 压力传感器 

分 类 号：TH812[机械工程—仪器科学与技术]