TiO_2纳米管阵列的湿敏特性研究  

Humidity sensing properties of TiO_2 nanotubes arrays

作　　者：李明辉[1] 李伊荇[1] 杜方[1] 张艳艳[1] 付乌有[1] 杨海滨[1] 

机构地区：[1]吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春130012

出　　处：《现代仪器》2009年第3期21-22,15,共3页Modern Instruments

摘　　要：采用电化学阳极氧化法制备高度有序的TiO_2纳米管阵列。样品分别在300℃、400℃、 500℃和600℃条件下煅烧。Ti O_2纳米管的结构和形貌由X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电镜(FESEM)进行表征。用TiO_2纳米管阵列设计一种新型的传感器来考察其湿敏特性。600℃条件下煅烧的样品在11 %～95%相对湿度(RH)范围内表现出比较高的灵敏度,在电阻上有两个数量级的变化,并且响应和恢复时间比较短(<190s)。The highly ordered TiO2 nanotubes arrays are prepared by electrochemical anodic oxidation. The samples are calcined at 300℃, 400℃, 500℃ and 600℃ respectively. The structure and the morphology of the TiO2 nanotubes are analyzed by X-ray diffraction （XRD） and field emission scanning electron microscopy （FESEM）. We design a novel sensor with the TiO2 nanotubes films to investigate the humidity sensing behaviours. The samples calcined at 600℃ show high sensitivity with nearly two orders change in the resistance and short response and recovery time （〈190s） during the relative humidity variation from 11% to 95%.

关 键 词：二氧化钛纳米管 阳极氧化 湿度传感器 薄膜 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]