陶瓷湿敏元件失效模式和失效机理  

Failure Model and Mechanism of the Ceramic Humidity Sensors

作　　者：李和太[1] 韦春才[1] 王军[1] 崔志武 

机构地区：[1]沈阳工业大学电子工程系

出　　处：《沈阳工业大学学报》1998年第3期40-43,共4页Journal of Shenyang University of Technology

摘　　要：在对陶瓷湿敏元件现场应用情况调查和进行各种应力实验的基础上，采用扫描电镜等现代分析手段和物理化学理论统计分析，得出了陶瓷湿敏元件的主要失效模式和三种失效机理．On the basis of practical application investigation and various of stress testing to ceramic humidity sesors,the main failure model and three kinds of failure mechanism are discribed by means of the modern SEM technology and statistical analysis of physical chemistry.

关 键 词：半导体陶瓷 失效模式 湿敏元件 失效机理 

分 类 号：TN304.82[电子电信—物理电子学]