YBa_2Cu_3O_7纳米桥rf SQUID  

YBa 2Cu 3O 7 NANOBRIDGE rf SQUID

作　　者：蒋巨涛[1] 胡晓东[1] 聂瑞娟[1] 刘乐原[1] 马平[1] 蔡晓磊 谢飞翔[1] 戴远东[1] 王守证[1] 王世光[1] 

机构地区：[1]北京大学物理系人工微结构及介观物理国家重点实验室

出　　处：《低温物理学报》1998年第3期209-212,共4页Low Temperature Physical Letters

摘　　要：我们采用电子束曝光和氩离子刻蚀技术制备了ＹＢＣＯ纳米桥，在此基础上得到高温ｒｆＳＱＵＩＤ．器件的磁通噪声为４×１０－４Φ０／Ｈｚ，磁场分辨率为２．０ｐＴ／Ｈｚ．对没有三角波的器件，经过ＥＤＴＡ后腐蚀技术对纳米桥进行弱化处理，部分器件出现了三角波．Abstract: We have fabricated YBCO Nanobridge by using the technique of electron beam lithograpy and Ar ion etching and furtherly made rf SQUID based on Nanobridge. The flux noise of rf SQUID is 4×10 -4 Φ 0/Hz and the field sensitivity is 2.0pT/Hz. For the devices without signal, voltage modulation of rf SQUID was observed after weakening the Nanobridge by EDTA etching technique.

关 键 词：YBCO纳米桥 rfWQUID 高TC 超导体 量子干涉器件 

分 类 号：TM262.051[一般工业技术—材料科学与工程]