谐振器型声表面波加速度传感器的研究  

Research on Resonant SAW Accelerometer

作　　者：王生江[1] 董永贵[1] 李源[1] 冯冠平[1] 

机构地区：[1]清华大学精仪系

出　　处：《仪表技术与传感器》1998年第5期4-6,10,共4页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：利用压电石英晶体设计并制作了一种谐振器型声表面波加速度传感器，并对其性能进行了测试和分析。试验结果表明，采用声表面波谐振器制作成的谐振器型声表面波加速度传感器具有灵敏度高、线性度好的特点，测量精度及短期稳定性等指标均已达到战术级惯性仪器对加速度计的要求，具有很好的发展前景。A new type of quartz-based resonant SAW accelerometer is designed and fabricated. Its performance is tested. Test results show that this type of resonant SAW accelerometer has very high sensitivity and good linearity. The precision and short stability required by tactical-grade instruments are achieved. This accelerometer will have wide application in inertial navigation system.

关 键 词：石英晶体 声表面波 加速度计 传感器 谐振器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH824.4[自动化与计算机技术—控制科学与工程]