微型传感器及纳米传感器  

Microsensor and Nanosensor

作　　者：武俊齐[1] 

机构地区：[1]电子工业部第二十四研究所

出　　处：《半导体情报》1998年第3期22-28,共7页Semiconductor Information

摘　　要：综述了微型传感器及纳米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。This paper reviews the recent development of microsensor and nanosensor.The trend of microsensor technologies and the key techniques are described.The military applications of microsensor technologies are also given.

关 键 词：微型传感器 纳米传感器 微机械加工技术 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN405.1[自动化与计算机技术—控制科学与工程]