用于水质检测的微传感器及微系统  

Microsensor and Microsystem Applied to Water Quality Detection

作　　者：卞贺明[1,2] 夏善红[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190 [2]中国科学院研究生院,北京100049

出　　处：《微纳电子技术》2009年第6期350-357,共8页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：着重介绍了用于水质检测的电化学、声学、光学三种类型微传感器以及微分析系统、微传感片上系统两类微系统的基本原理、特点和研究进展;比较了不同类型微传感器的性能差异;讨论了目前水质检测微传感器及微系统在研究中存在的主要问题及解决方法,并对其未来的发展前景进行了展望。The basic principles, characteristics and progress of three kinds of microsensors based on electrochemistry, acoustics, optics, in the field of water quality detection are introduced. Meanwhile, two different kinds of microsystems, the microanalytical system and SOC （systemon-a-chip）, are also introduced. The properties of different types of microsensors are compared. Problems and approaches in the research of microsensors and microsystems are discussed, and the development prospect is proposed.

关 键 词：水质检测 微传感器 微分析系统 片上实验室 片上系统 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP212.3[自动化与计算机技术—控制科学与工程]