美国发布CIGS型太阳能电池玻璃底板成膜装置  

出　　处：《玻璃》2009年第6期57-58,共2页Glass

摘　　要：美国维易科精密仪器（VeecoInstruments）发布了CIGS（Cu、In、Ga、Se）型太阳能电池玻璃底板用蒸镀成膜装置“FastLine”（英文发布资料）。该装置采用易于提高制造能力的系统，每小时可最多处理30块尺寸1．1m×1．4m的玻璃底板。并且，虽未公布具体数值，

关 键 词：太阳能电池 成膜装置 玻璃底板 美国 GS型 FastLine CI 精密仪器 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学] TM914.4[电气工程—电力电子与电力传动]