硅、锗片的激光损伤及加固研究  

作　　者：龚辉[1] 王明利[1] 李成富[1] 程雷[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所

出　　处：《光学学报》1998年第6期677-681,共5页Acta Optica Sinica

摘　　要：利用ＹＡＧ脉冲激光在二种脉宽下（１０ｎｓ、２５０μｓ），对Ｓｉ、Ｇｅ片进行了损伤研究，分别给出了表面损伤机制，并利用镀金钢石膜、介质膜和激光预辐照进行加固，讨论了加固效果。

关 键 词：激光损伤 金钢石膜 介质膜 激光预辐照 硅 锗 

分 类 号：TN304.11[电子电信—物理电子学] TN304.12