集成电路用聚合物光波导材料  

Polymer Material for Optical Waveguide Used in Integrated Circuit

作　　者：温昌礼[1] 季家镕[1] 窦文华[1] 宋艳生[1] 

机构地区：[1]国防科学技术大学光电科学与工程学院,湖南长沙410073

出　　处：《激光与光电子学进展》2009年第7期36-40,共5页Laser & Optoelectronics Progress

摘　　要：针对光互连的热门前沿问题,对目前世界上采用的波导材料进行了总结,并重点介绍了含氟聚酰亚胺和聚硅氧烷两种集成电路最适用的材料及其研究现状。为进一步开展大规模光路集成做了部分基础研究工作。The waveguide material based on host point of optical interconneotion is summarized, and the most suitable materats, fluorinated polyimide and polyorganosilo-oxane, for integrated circuit are introduced. Some basic work for the further research of large scale integration is reviewed.

关 键 词：材料 聚合物 有机物 光波导 波导材料 

分 类 号：O633.22[理学—高分子化学] TQ342.82[理学—化学]