多弧离子镀(Ti，Al，Zr，Cr)N多元膜的高温氧化行为  

HIGH TEMPERATURE OXIDATION BEHAVIOR OF MULTI-COMPONENT(Ti,Al,Zr,Cr) N FILMS DEPOSITED BY MULTI-ARC ION PLATING

作　　者：赵时璐[1,2] 张钧[1,2] 刘常升[3] 

机构地区：[1]东北大学材料与冶金学院 材料各向异性与织构工程教育部重点实验室,沈阳110004 [2]沈阳大学机械工程学院,沈阳110044 [3]东北大学材料与冶金学院

出　　处：《中国腐蚀与防护学报》2009年第4期296-300,共5页Journal of Chinese Society For Corrosion and Protection

基　　金：辽宁省高等学校优秀人才支持计划资助(RC-05-05);长江学者和创新团队发展计划资助(IRT0713)

摘　　要：采用多弧离子镀技术,用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积了(Ti,Al,Zr, Cr)N多元膜,并进行了600℃,700℃,800℃和900℃短时(4 h)高温氧化实验及700℃和800℃长期(100 h)高温循环氧化实验。用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)和X射线衍射(XRD)观察和分析样品表面氧化膜。结果表明,这种多元膜在短时(4 h)高温氧化条件下,800℃时仍具有良好的抗高温氧化性,XRD显示氧化膜主要为TiO_2;在长期(100 h)高温氧化条件下,该多元膜的抗高温氧化温度大约为700℃左右。Using Ti-Al-Zr target and pure Cr target, the multi-component nitride films, （Ti, Al, Zr, Cr） N, were deposited on the substrates of high speed steel （W18Cr4V） by multi-arc ion plating technique. The high temperature oxidation of the film was carried out in the case of both the short-time （600℃, 700 ℃, 800℃ and 900℃ for 4 h） and long-time （700 ℃ and 800 ℃ for 100 h） tests. All of the specimens were characterized by scanning electron microscopy （SEM）, energy dispersion X-ray spectroscopy （EDS） and X-ray diffraction （XRD）. It was shown that the high temperature oxidation resistance of the film was up to 800 ℃ in case of short-time oxidation, and TiO2 formed on the （Ti, Al, Zr, Cr） N film; while oxidation resistance of the film was up to 700 in case of long-time oxidation.

关 键 词：多弧离子镀 (Ti Al zr Cr) N膜 高速钢 高温氧化 

分 类 号：TG174[金属学及工艺—金属表面处理]