接触式干涉仪技术改造  

作　　者：何学军[1] 张志权[1] 

机构地区：[1]中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京100095

出　　处：《计测技术》2009年第4期53-54,共2页Metrology & Measurement Technology

摘　　要：介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法。改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据,由计算机直接输出测量报告;减少了人为的读数误差和对线误差,具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点。

关 键 词：接触式干涉仪 电感式位移传感器 计算机 高精度 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程] TP212.1[机械工程—仪器科学与技术]